Това е само предварителен преглед!
Отлагане на тънки слоеве чрез вакумно термично изпарение
Вакумната система е изградена от отделни вакумни възли и елементи - Фиг. 3. Създаването на висок вакум в камерата 1 се извършва чрез първоначално изпомпване с ротационната помпа...