Това е само предварителен преглед!
Термично окисление на силициеви подложки
Контролни въпроси. Защо термичното окисление на Si подложки е основен процес в планарната технология? Защо дебелината на SiO2 се увеличава по линейно – параболичен закон? Защо след термичното окисление се прави фотолитография...